真空泵排出气体中含有大量的油雾颗粒，如果不经过分离处理，这些油雾颗粒随着气体一起排出来，就形成了大家通常所说的“冒烟”，真空泵“冒烟”了，车间的工作环境就受到了污染，而且真空泵油也就流失得特别快，需要每天对真空泵进行加油。这时，有了排气过滤器就可以解决这一问题。油气混合物在排出时需要穿过排气过滤器的高精度玻纤滤纸，油雾颗粒以液体的形态无法直接穿过玻纤滤纸，于是就附着在滤纸上，最后越来越多的油雾颗粒附着在滤纸上再结集成油滴回流真空泵内，干净的气体则在一定的压力下穿过玻纤纸顺利排出，这样真空泵过滤器就达到了油气分离的作用。